用于操纵沿光学路径行进的辐射束的补偿器

摘要

本公开涉及一种用于操纵沿光学路径行进的辐射束的补偿器。补偿器包括保持第一光楔的固定支撑件和保持第二光楔的可调节支撑件。可调节支撑件包括基座、保持第二光楔的平台、第一挠性件和第二挠性件以及驱动块。平台限定腔体并且相对于基座和固定支撑件可移动。第一挠性件和第二挠性件将平台耦合到基座使得平台沿平台路径平移。驱动块设置在平台的腔体中，并且被构造为沿垂直于光学路径并且垂直于平台路径的驱动块路径平移。驱动块包括第一驱动支承表面和第二驱动支承表面，该第一驱动支承表面和第二驱动支承表面被构造为沿平台路径分别在第一平台方向和第二平台方向上平移平台。