一种超纯水系统在光电行业的处理装置

摘要

本实用新型涉及超纯水应用技术领域，具体为一种超纯水系统在光电行业的处理装置，包括活性炭过滤器罐体、阳离子塔、脱碳酸塔、RO单元、RO水箱、混床、脱气膜罐主体、纯水箱、抛光混床和终端UF罐，通过设置的活性炭过滤器罐体中的活性炭吸附了TOC和余氯，通过阳离子塔吸附水中的阳离子，通过脱碳酸塔脱除水中的CO2，脱除了水中的CO2，降低了反渗透膜RO的损耗，提高率除盐率和回收率，通过混床再进一步去除水中的阴阳离子，通过脱气膜罐主体中膜的一端鼓入N2，另膜的另外一端脱真空泵，把氧气O2脱除，从而降低水中氧气O2的含量，大大提高了水质，通过经过TOCUV灯去除水中的TOC，通过抛光树脂，更进一步去除水少量的离子，通过UF过滤细小颗粒。