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一种在真空室内实现样片的自转与公转样片台

摘要

本实用新型公开了一种在真空室内实现样片的自转与公转样片台,包括真空室,所述真空室的一端设置有公转驱动电机,所述公转驱动电机上固定安装有磁流体一,所述磁流体一的输出端固定安装有联轴节一,所述联轴节一贯穿通孔连接有连接轴一,所述连接轴一远离联轴节一的一端连接有公转驱动齿轮,所述真空室的另一端设置有自转驱动电机,所述自转驱动电机上固定安装有磁流体二,所述磁流体二的输出端固定安装有联轴节二,所述联轴节二贯穿通孔连接有连接轴二,所述连接轴二远离联轴节二的一端连接有自转驱动齿轮,所述自转驱动齿轮和公转驱动齿轮之间设置有两个样片齿轮。本实用新型有效实现样片的自转与公转同时进行,同时能够根据需求调节速度。

著录项

  • 公开/公告号CN214894384U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-11-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京金盛微纳科技有限公司;

    申请/专利号CN202120115003.5

  • 发明设计人 金光日;薛志杰;林红;

    申请日2021-01-16

  • 分类号G01N1/28(20060101);

  • 代理机构11499 北京市浩东律师事务所;

  • 代理人李琼

  • 地址 100000 北京市西城区德外大街11号30栋411室(德胜园区)

  • 入库时间 2022-08-23 02:20:56

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