公开/公告号CN214843382U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-11-23
原文格式PDF
申请/专利权人 南京匠森建筑景观规划设计有限公司;
申请/专利号CN202121195543.5
发明设计人 孔康苏;
申请日2021-05-31
分类号G01D21/02(20060101);
代理机构34176 合肥昕华汇联专利代理事务所(普通合伙);
代理人孙怀香
地址 210000 江苏省南京市鼓楼区中山北路350号
入库时间 2022-08-23 02:12:08
机译: 一种用于清洁在OLED装置中使用的真空系统的方法,一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的方法以及一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置