一种化学水浴沉积CIGS太阳能电池缓冲层制备装置

摘要

一种化学水浴沉积CIGS太阳能电池缓冲层制备装置，包括：双面化学水浴沉积容器、玻璃基板架。将玻璃基板放入第一玻璃基板承载模板的定位卡孔中，使模板固定盖上的滑槽与第一玻璃基板承载模板的滑轨相连接，将放置好玻璃基板的第二玻璃基板承载模板的滑轨与模板固定盖另一面滑槽也相连接后，构成玻璃基板架，将玻璃基板架插入双面化学水浴沉积容器的滑槽中，将反应液倒入双面化学水浴沉积容器中，并将其置于水浴加热环境中沉积薄膜。通过双面化学水浴沉积容器的扁长方体结构使得玻璃基板受热快速且均匀，最终通过玻璃基板承载模板的沉积窗在基板上沉积上平整光滑薄膜。