一种机械化学研磨中研磨头进气构件

摘要

本实用新型涉及一种机械化学研磨中研磨头进气构件，为空心圆结构，下表面设置有圆形凹槽，圆形凹槽内设置有第一凸部，上表面设置有第二凸部，围绕所述第二凸部设置有至少6个沿径向分布的凹槽；第二凸部上设置有第三凸部；第一凸部、第二凸部和第三凸部的中心线和所述空心圆结构的中心线相重合；第二凸部的表面围绕第三凸部设置有通孔；第三凸部的表面设置有通孔和至少6个气孔；气孔和所述凹槽通过通道进行连通；所述通道中的第一通道的直径＜第二通道的直径。通过对进气构件的气道进行重新设计，增加新的孔道和通道，解决了现有技术中晶圆研磨不均匀的问题，保证了晶圆研磨后可以实现完全的平坦化，提高了生产效率。