公开/公告号CN214734546U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-11-16
原文格式PDF
申请/专利权人 杭州匡时科技有限公司;
申请/专利号CN202120912609.1
发明设计人 王凌鹏;
申请日2021-04-29
分类号C01B21/38(20060101);
代理机构33266 杭州融方专利代理事务所(普通合伙);
代理人沈相权
地址 311201 浙江省杭州市萧山区新街镇陈家园村
入库时间 2022-08-23 01:58:43
机译: 将半导体衬底缩小到高均匀度和半导体衬底的方法,具有高均匀度的器件层
机译: 将半导体衬底缩小到高均匀度和半导体衬底的方法,具有高均匀度的器件层
机译: 将半导体衬底缩小到高均匀度和半导体衬底的方法,具有高均匀度的器件层