静电吸附承盘用的弹性密封环

摘要

一种静电吸附承盘用的弹性密封环，其设置于一静电吸附承盘的沟槽中。该弹性密封环包括：一主密封部以及一固定部；其中，该主密封部具有一第一最大垂直厚度，该第一最大垂直厚度大于或等于该沟槽的垂直高度；该固定部由该主密封部朝向该沟槽的方向凸出成型，且该固定部具有一第二最大垂直厚度，该第二最大垂直厚度等于或小于该沟槽的垂直高度，且该第一最大垂直厚度大于该第二最大垂直厚度；以及该主密封部和该固定部于径向方向上的总长度与所述沟槽于径向方向的长度相等。