誘導帯電を用いた静電吸着法における導電性微粒子の挙動

摘要

塵埃などの微粒子を電気的に回収する方法として電気集塵装置があげられる。これは気流で吸引した微粒子を放電電極からのコロナ放電により帯電させ，静電気力を用いて集塵電極に回収する装置である。一方，筆者らは，気体中の塵埃ではなく床や机などの上に堆積した微粒子を気流や放電を使わずに誘導帯電を用いて吸着を行う静電吸着法を提案してきた。本研究では，絶縁膜によって微粒子を捕集する装置を試作し，その基本性能を評価した。