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场发射扫描电镜用工作台

摘要

本实用新型提供场发射扫描电镜用工作台,设置有固定壳、固定座,固定座通过转动轴安装在固定壳内,且还在固定座上设置有调节杆,同时在调节杆外安装有固定环对调节杆逐步限位,能够实现自由调节固定座的角度,进而能够适应样品的不同倾斜角度需求,很好地保证了样品断面所在的水平面垂直于电子束入射的方向,保证了对样品观察的顺利进行;并在固定座上插接有分隔块,分隔块上安装有压紧组件,同时在固定座上安装有抵紧组件,根据样品的尺寸安装分隔块,同时分别调节分隔块的压紧组件及固定座上的抵紧组件就能将样品充分固定,且还能固定具有不同厚度的样品,实用性强。

著录项

  • 公开/公告号CN214753639U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-11-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京中科百测检测技术有限公司;

    申请/专利号CN202120123258.6

  • 发明设计人 许耀华;

    申请日2021-01-18

  • 分类号H01J37/20(20060101);

  • 代理机构12227 天津英扬昊睿专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人吴扬

  • 地址 100000 北京市顺义区顺西南路50号1幢4层423室

  • 入库时间 2022-08-23 01:55:27

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