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蔡司场发射扫描电镜Sigma500真空系统故障与排除

     
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摘要

场发射扫描电镜是科研工作中不可或缺的重要工具之一,管理者要及时排查、解除故障,以缩短维修周期、节约维修经费,保障仪器高效有序运行.本文对蔡司Sigma 500真空系统在使用过程中发生的故障进行了分析排查并对解决方法进行了归纳总结,给同款仪器用户以借鉴.

著录项

  • 来源
    《电子显微学报》|2021年第4期|479-482|共4页
  • 作者

    薛敏; 马赛; 魏杰; 陈炜晔;

  • 作者单位

    北方民族大学材料科学与工程学院 北方民族大学材料科学国家级实验教学示范中心 宁夏银川750021;

    北方民族大学材料科学与工程学院 北方民族大学材料科学国家级实验教学示范中心 宁夏银川750021;

    北方民族大学材料科学与工程学院 北方民族大学材料科学国家级实验教学示范中心 宁夏银川750021;

    北方民族大学材料科学与工程学院 北方民族大学材料科学国家级实验教学示范中心 宁夏银川750021;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 电子显微镜;电子光学仪器;
  • 关键词

    场发射扫描电镜; 真空系统; 故障;

  • 入库时间 2022-08-20 08:46:16

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