一种基板上外来异物的清除装置

摘要

本实用新型提供一种基板上外来异物的清除装置，通过设置吹吸气头模块的吹气开口和吸气开口以及分别与其相连通的真空流量调节模块内的吹气导管和真空吸气导管，并且使得吹气和吸气间歇性操作，能够有效地实现将基板上的外来异物吹脱并从吸气开口、真空吸气导管吸除，避免外来异物产生二次污染；此外，可拆卸支架模块可以与装配在操作机台上的扫描模块相配合实现带动真空流量调节模块和吹吸气头模块在基板的每个有效区域上方进行往复运动，以对基板的有效区域进行无死角的清洁处理；通过在可拆卸支架模块内设置离子风发生器，可以达到更好地去除异物和静电的效果。