电气机械换能器及其制造方法

摘要

本申请涉及电气机械换能器及其制造方法。一种制造电气机械换能器的方法包括：在第一电极上形成绝缘膜；在绝缘膜上形成牺牲层；在牺牲层上形成第一膜片；在第一膜片上形成第二电极；在第一膜片中形成蚀刻孔，并且通过蚀刻孔移除牺牲层；在第二电极上形成第二膜片，并且密封蚀刻孔。形成第二膜片和密封蚀刻孔在一个操作中执行。