公开/公告号CN214472664U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-10-22
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院金属研究所;
申请/专利号CN202120228897.9
申请日2021-01-27
分类号G01N17/02(20060101);F17D5/00(20060101);
代理机构21234 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人李晓光
地址 110016 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
入库时间 2022-08-23 01:08:25
机译: 用于气体分析的基于硅的微流传感器及其生产方法用于气体分析的基于硅的微流传感器及其生产方法
机译: 微机械部件,基于微镜的激光系统以及用于监视基于微镜的激光系统的方法,该系统包括用于感测温度和光强度的双传感器二极管
机译: 基于生物膜的传感器