一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置

摘要

本实用新型公开了一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置，涉及反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置领域，现提出如下方案，其包括第一安装座和第二安装座，所述第一安装座固定安装有第一安装垫和第一插入套，所述第一安装垫内开设有第一插入槽，所述第一安装垫围成了上半部检测室，所述第二安装座内固定安装有第三安装垫和第二安装垫，所述第三安装垫开设有第二插入槽，所述第二安装垫上固定安装有第二插入套，所述第二安装垫围成了下半部检测室，所述第一安装座和所述第二安装座之间设有多个螺纹杆，所述螺纹杆设有位于所述第一安装座上方的稳定块，所述第一安装座和所述第二安装座之间固定安装有多个弹簧。