一种单晶炉直拉对中校准系统

摘要

本实用新型一种单晶炉直拉对中校准系统，用于提拉钢线与石英坩埚同轴线校准，包括：置于单晶炉主室内侧并被悬空设置的校准部；监测部；以及用于与监测部连接的处理器；其中，提拉钢线绷直设置；校准部与提拉钢线下端的重锤连接，且校准部下端面距离石英坩埚上端面有一定距离。本实用新型可快速精准地多次重复对中校准，结果稳定且一致性好，为后续晶体生长时确保晶体棒和石英坩埚的旋转中心重合奠定基础，降低了由于熔硅液面抖动造成的固液界面异常，最大限度地保证晶体正常生长，整体误差率由现有的10％降低至5％，检测效率提高了5％左右，再现一致性好，提高晶体生长合格率。