用于CVD合成二硫化钼过程的废气处理装置

摘要

本实用新型公开了一种用于CVD合成二硫化钼过程的废气处理装置，包括密封壳体，所述密封壳体为空心长方体，密封壳体中按照废气流向依次连接有一次活性炭过滤器、碱液过滤器组和二次活性炭过滤器，所述碱液过滤器组共设有顺次连接的三个完全相同的碱液过滤器，一次活性炭过滤器处连接有进气管、二次活性炭过滤器处连接有排气管，进气管和排气管穿过通孔伸出密封壳体。本装置利用两个活性炭过滤器和三个碱液过滤器对CVD法合成二硫化钼过程的废气进行处理，同时利用装置内部的高浓度碱液储液槽和进液机构，根据碱液过滤器中碱液的浓度适时补充碱液以保证过滤效果，装置整体占地面积小，便于在多场景中使用，具有极强的具体使用价值。