CVD装置6ch対応の水冷燃焼式排ガス処理装置を発売

摘要

大陽日酸（市原裕史郎社長）は最大6チャンバーに対応可能となるCVD装置向けの水冷燃焼式排ガス処理装置を開発した。4月1日より受注活動に入った。新製品「コロナバーナー（Corona Burner）」は各種CVD装置、C／Cベントなどより排出される可燃性ガス及びNF3などのPFC類を分解·除去する装置。