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一种双光路二维晶圆级材料转移平台设备

摘要

本实用新型公开了一种双光路二维晶圆级材料转移平台设备,旨在解决背景技术出现的大面积转移精度问题。该转移平台设备包括从下到上依次设置的用于固定待转移材料的基底的转移平台、用于负载待转移材料的基材的载玻片和观察系统,所述基底与所述基材始终保持平行,该设备还包括驱动所述载玻片上下移动以使所述基材与所述基底对准叠合的升降机构,所述观察系统包括两台并排设置且对准所述载玻片的显微镜,所述基材为透明基材。

著录项

  • 公开/公告号CN214254383U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-09-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 湖南大学;

    申请/专利号CN202120478719.1

  • 发明设计人 段曦东;杨向东;李佳;

    申请日2021-03-05

  • 分类号H01L21/68(20060101);H01L21/677(20060101);

  • 代理机构43114 长沙市融智专利事务所(普通合伙);

  • 代理人谢浪

  • 地址 410082 湖南省长沙市岳麓区麓山南路2号

  • 入库时间 2022-08-23 00:31:41

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