一种晶圆生产加工专用初次氧化装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆生产加工专用初次氧化装置，包括初次氧化装置主体，所述初次氧化装置主体的内部顶端安装有氧化组件，所述初次氧化装置主体的内部底端安装有操作板槽，所述初次氧化装置主体的前表面底部通过铰链转动连接有防护门，所述初次氧化装置主体的两侧均一体式成型有边板，所述边板的内部开设有滑槽；通过在初次氧化装置主体的后表面设计滑板和在滑板的内部设计弹性垫与清洁刷，避免初次氧化装置放置在一定的位置处后表面易落入较多的灰尘，不便于对后表面清洁，可以手持手持头带动滑块在滑槽的内部滑动，通过滑块滑动带动滑板在初次氧化装置主体的后表面滑动，此时通过滑板带动清洁刷接触于初次氧化装置主体的后表面滑动。