导流筒及单晶炉

摘要

本实用新型提供一种导流筒及单晶炉，属于单晶设备技术领域。导流筒包括外壳、内胆及填充于所述外壳和所述内胆之间的绝热层，所述内胆包括钼金属部及高纯石墨部，所述钼金属部设置于所述高纯石墨部上。一方面，高纯石墨部靠近硅熔汤液面，钼金属部远离硅熔汤液面，因此降低钼金属扩散，提高单晶硅品质；另一方面，位于导流筒上部的钼金属部能够反射部分热量，增加温度梯度，提高单晶拉速。上述导流筒能够在保证单晶拉速的基础上，降低单晶硅金属杂质含量，提高单晶硅品质，延长单晶硅使用寿命。