一种用于悬臂梁式微开关最大粘附压力的检测装置

摘要

本实用新型公开了一种用于悬臂梁式微开关最大粘附压力的检测装置，包括三自由度微动平台501，弹性梁502，柔性探头503，精密电子天平504，外加负载505，直流电压源506，电流表507，试件508；弹性梁502的一端固定在三自由度微动平台501上，弹性梁502的自由端部底下设有柔性探头503，弹性梁502的自由端部上方放置负载505，试件508置于精密电子天平504上，直流电压源506为试件508提供直流电压，改变外加负载505，电流表507记录电流变化，对于给定的电压，粘附可以通过电流和外加负载的关系来测量。