一种用于半导体蚀刻中汽提塔的热交换节能机构

摘要

本实用新型公开了一种用于半导体蚀刻中汽提塔的热交换节能机构，涉及半导体生产加工用相关设备技术领域。本实用新型包括安装组件和节能组件，安装组件包括支架、伸缩杆、滑轨和滑块，支架连接于其内侧汽提塔主体两侧上中部，支架上一侧中部贯穿的伸缩杆一侧下中部与滑轨内侧中部滑动连接的滑块一端螺纹连接，伸缩杆底中部连接有节能组件，节能组件包括回收箱、抽风机、换热管和收集漏斗，回收箱后下中部抽风机一端与其内中部换热管一端贯穿连接，换热管另一端与收集漏斗一侧中部贯穿连接，收集漏斗后一侧中部连接的伺服电机通过轴杆转动连接有密封板。本实用新型通过设置节能组件和安装组件结构，具有节能环保，降低成本，便于使用的优点。