一种DNA测序装置、固态纳米孔阵列

摘要

本实用新型公开一种DNA测序装置、固态纳米孔阵列，包括：固态纳米阵列包括在硅片上刻蚀若干个金字塔，在每一个金字塔下方生长有氧化硅，在氧化硅下方沉积有氮化硅，在氮化硅下方蒸镀有第一金属电极；每个金字塔的两侧蒸镀有第二金属电极，相邻金字塔两侧第二金属电极之间形成一倒金字塔形微腔，每个倒金字塔形微腔的塔顶形成一固态纳米孔，每个固态纳米孔构成固态纳米孔阵列；第一金属电极、可变电阻、电流测量装置以及电源、第二金属电极构成若干路纵向微弱电流测量回路；通过调节可变电阻，电流测量装置测量纵向微弱电流测量回路的纵向微弱电流对通过固态纳米孔阵列的DNA序列进行测序。通过本实用新型实施例，可以提高DNA测序精度和测序效率。