基于石墨烯纳米孔-微腔-固态纳米孔的DNA测序装置及制作方法

摘要

基于石墨烯纳米孔-微腔-固态纳米孔的DNA测序装置及制作方法，在SOI硅片上部刻蚀有倒金字塔形微腔，在其下部刻蚀有柱状孔，倒金字塔形微腔塔顶为固态纳米孔，在上部有石墨烯，在石墨烯中央刻蚀有石墨烯纳米孔，铂电极和纵向微弱电流测量装置及电源构成纵向微弱电流测量回路，金电极和横向微弱电流测量装置及电源构成横向微弱电流测量回路；在SOI硅片正面刻蚀倒锥形腔，背面刻蚀垂直柱状孔，腐蚀掉其上氧化埋层，形成固态纳米孔，将已经制备的石墨烯转移到SOI硅片表面，在石墨烯中央刻蚀出与固定纳米孔同轴的石墨烯纳米孔；将芯片、电源和电流表组成电路，通过测定DNA穿过纳米孔时电路中电流强度的变化，实现对DNA的测序。