公开/公告号CN213871616U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-08-03
原文格式PDF
申请/专利权人 惠鹏科技(无锡)有限公司;
申请/专利号CN202022740130.2
申请日2020-11-24
分类号F16L41/02(20060101);
代理机构
代理人
地址 214000 江苏省无锡市新吴区梅村工业园群兴路28号
入库时间 2022-08-22 23:25:29
机译: 用于半导体工艺的分流阀的双波纹管和使用相同的分流阀的泄漏监测系统
机译: 波纹管连接结构,可通过防止波纹管之间的缝隙来防止水分流入
机译: 带Y型分流器的排气系统