35片装立式放置晶圆盒

摘要

本实用新型提供一种35片装立式放置晶圆盒，包括上盖、片架、底盖，片架放置于底盖内，上盖扣接盖设于底盖的上方；片架的两个片架侧壁的相对面设有35个间距排布的晶圆插槽；上盖的顶面平行于晶圆轴线的两个侧边分别设有35个间距排布、向晶圆轴线方向水平延伸的悬臂弹片，悬臂弹片的端部设有用于夹持和稳定晶圆上部的支撑槽；支撑槽两侧的槽壁向上倾斜外扩形成挡墙，挡墙顶点的垂直投影越过相邻悬臂弹片之间的中心线，使相邻支撑槽的相邻挡墙呈错位互补型。本实用新型在不改变市场现有产品整体尺寸、形状的前提下，实现高密度卡槽设计，具有降低成本、提高存储和运输效率、同时不会发生卡片现象的特点。