一种用于光棒沉积过程固定光棒把手棒位移的夹具

摘要

本实用新型公开了一种用于光棒沉积过程固定光棒把手棒位移的夹具，本实用新型涉及用于光棒沉积过程固定光棒把手棒位移的夹具技术领域，包括夹具，夹具的上下两侧均设有第一石墨块，第一石墨块的顶面开设通孔，夹具顶面和底面均开设螺孔，通孔内设有螺栓，螺栓能沿通孔移动，螺栓的端部与相对应的螺孔通过螺纹配合连接，夹具的一侧设有靶棒，靶棒的一端与夹具相配合，靶棒的另一端设有连接板，连接板的顶面固定安装V型支架，V型支架的一侧活动设置第二石墨块，靶棒的另一端能够放置在V型支架内。本实用新型结构设计合理，使用方便，主要通过对ASI光棒设备夹具进行重新优化，解决沉积过程中玻璃把手棒在陶瓷棒上发生位移问题。