公开/公告号CN213748252U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-07-20
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市申思测控技术有限公司;
申请/专利号CN202022710599.1
发明设计人 项冠博;
申请日2020-11-20
分类号G01B7/02(20060101);
代理机构44698 东莞市凯粤智华专利商标代理事务所(普通合伙);
代理人任文婷
地址 518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道新联社区如意路92号蚂蚁智库创业楼205
入库时间 2022-08-22 23:02:40
机译: 用于位置-/位移测量系统的量体装置,用于位置-/位移测量系统,并且其上安装了位置-/位移测量系统
机译: 用于位置-/位移测量系统的量体装置,用于位置-/位移测量系统,并且其上安装了位置-/位移测量系统
机译: 光刻设备,一种制造设备的方法以及一种能够测量活动物体的位移的位移测量系统校准方法