一种高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台

摘要

本实用新型公开了一种高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台，包括一工作台面，所述工作台面下方设置有若干压电陶瓷线性执行器，所述的若干压电陶瓷线性执行器圆周均布，所述的若干压电陶瓷线性执行器的推杆连接一板簧，所述板簧连接所述工作台面。所述压电陶瓷线性执行器推杆与所述板簧之间通过柔性铰链连接。所述的若干压电陶瓷线性执行器的推杆上分别设置有一直线轴承。本实用新型的三自由度工作台具有高刚性、高精度、低热变形等特点，且易于安装，易于维护。