一种基于核-壳型压电半导体复合结构的温敏传感器

摘要

本实用新型公开一种基于核‑壳型压电半导体复合结构的温敏传感器，其包括衬底层、压电半导体复合圆柱壳以及位于压电半导体复合圆柱壳表层的四探针式电阻率测量器，压电半导体复合圆柱壳为由具有热释电效应压电材料层、普通半导体材料层复合而成的层状圆柱壳结构，四探针式电阻率测量装置外设置有绝缘和绝热的材料制作的外壳；当置于恒定环境温度中时，由于热弹性、热释电效应和压电效应的耦合，使得压电半导体复合圆柱壳的压电层产生电极化，驱使半导体材料层内的载流子重分布，进而改变表面电阻率。本实用新型可将外加温度载荷转化为可以检测到的电阻率信号，进而方便的探测到环境温度。