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一种液态源扩散装置

摘要

本实用新型属于电池制造技术领域,公开了一种液态源扩散装置,包括装有液态源的源瓶;进气管路向源瓶内输送气体;防回流装置包括设置在进气管路上的腔室,腔室的底部位于液态源的上方,支架固设于腔室中且设有固定部,气体及液态源能够通过支架,堵头设于腔室中且位于支架的上方,堵头能在液态源的浮力和流动压力作用下沿固定部在轴向上移动,以使堵头封堵上开口;出气管的下端插入源瓶中且下端口位于液态源的上方。当出气管的压力大于进气管路的压力时,液态源的浮力和流动压力使堵头及时地堵住腔室的上开口,避免液态源进入进气管路对进气管路及电子器件造成损伤。该液态源扩散装置能够防止液态源回流,装置结构简单,便于制造且制造成本低。

著录项

  • 公开/公告号CN213570826U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-06-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 横店集团东磁股份有限公司;

    申请/专利号CN202022417673.0

  • 发明设计人 王英杰;何悦;宋飞飞;

    申请日2020-10-27

  • 分类号C30B31/16(20060101);H01L31/18(20060101);

  • 代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;

  • 代理人胡彬

  • 地址 322118 浙江省金华市东阳市横店镇工业区

  • 入库时间 2022-08-22 22:34:46

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