用于检测晶圆吸盘残留异物的线扫描光学检测系统

摘要

一种用于检测晶圆吸盘残留异物的线扫描光学检测系统，利用一移动模块使晶圆吸盘沿一移动方向移动。当晶圆吸盘移动至被检测光束所照射的位置时，利用一线扫描图像获取模块沿一扫描线对晶圆吸盘进行线扫描以获取一晶圆吸盘检测图像。若晶圆吸盘上残留有异物时，检测光束投射至异物与晶圆吸盘的至少一交界边缘后，因异物与晶圆吸盘的反射条件不同而在晶圆吸盘检测图像中呈现出至少一异物边界轮廓，藉由晶圆吸盘检测图像是否存在异物边界轮廓，可判断晶圆吸盘上是否仍残留有异物。藉由将本实用新型，可在现有晶圆处理制程设备狭窄的内部空间中精确检测出晶圆吸盘上是否存在异物，使异物清除工作能更有效率地进行。