电子轰击与VUV紫外灯复合离子源系统

摘要

本实用新型公开了一种电子轰击与VUV紫外灯复合离子源系统，包括电离室、紫外灯离子源、电子轰击离子源、聚焦电极、引出电极、样品进入孔、光子进入孔和电子入射孔，电离室的底部设置有紫外灯离子源，电离室的后侧设置有电子轰击离子源，电离室的右侧设置有聚焦电极，聚焦电极的右侧设置有引出电极，电离室的前侧壁中心处均匀开设有样品进入孔，且样品进入孔的内腔后侧与电离室的内腔相连通，电离室的顶部开设有光子进入孔，电离室的前侧壁开设有电子入射孔，本实用新型结构设计合理，优化了电子轰击源、紫外灯源系统结构，在同一传输结构上，实现紫外灯源软电离和电子轰击源硬电离，且具备正负离子检测切换功能。