公开/公告号CN213403500U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 歌尔微电子有限公司;
申请/专利号CN202022733739.7
申请日2020-11-23
分类号H04R19/00(20060101);H04R19/04(20060101);H04R1/44(20060101);
代理机构44287 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所;
代理人关向兰
地址 266100 山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
入库时间 2022-08-22 22:01:51
机译: MEMS传感器,MEMS传感器系统以及制造MEMS传感器系统的方法
机译: MEMS传感器,MEMS传感器系统以及制造MEMS传感器系统的方法
机译: MEMS传感器驱动装置,MEMS传感器驱动方法以及使用该MEMS的有源传感器