公开/公告号CN213253743U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-05-25
原文格式PDF
申请/专利权人 宁波科新化工工程技术有限公司;
申请/专利号CN202021648676.9
申请日2020-08-10
分类号B01D53/18(20060101);
代理机构21224 鞍山嘉讯科技专利事务所(普通合伙);
代理人张群
地址 315312 浙江省宁波市慈溪市龙山镇范市工业区纬三路
入库时间 2022-08-22 21:45:02
机译: 带有模块结构的气体洗涤塔-每个模块都可用于气体净化。通过洗液。或用于再生洗涤液。通过解吸
机译: 带有模块结构的气体洗涤塔-每个模块都可用于气体净化。通过洗液。或用于再生洗涤液。通过解吸
机译: 用于至少一种基板的气体处理的系统,包括反应室,用于支撑布置在反应室中的一种基板的基板支撑结构,静态气体注入器和至少一个可移动气体注入器