多晶硅工艺废气洗涤塔排空气体着火分析

摘要

在使用改良西门子法生产多晶硅的过程中,合成、精馏、还原、氢化、干法尾气回收等主工序都会产生一定量的工艺废气.这些含有氯化氢(HC1)、氯硅烷的工艺废气若直接排放,会造成严重的环境污染.一般情况下,这些工艺废气都要通到碱液洗涤塔进行淋洗中和,经充分水解、中和后方可排空.但碱液洗涤塔的排空处或塔体在一定条件下会发生着火现象,事态严重或控制不当时甚至会发生爆炸事故,存在严重的安全隐患.本文主要针对多晶硅尾气干法回收工序碱液洗涤塔排空气体的着火现象进行了分析,并对着火原因作了初步探讨.