一种高真空碘化铯物理气相沉积镀膜设备

摘要

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，且公开了一种高真空碘化铯物理气相沉积镀膜设备，包括第一镀膜罐体和第二镀膜罐体，所述第一镀膜罐体与第二镀膜罐体通过罐体锁轴转动连接，所述第一镀膜罐体和第二镀膜罐体的内部均设置有真空镀膜腔，所述第二镀膜罐体的内侧设置有分子镀膜窗。该碘化铯物理气相沉积镀膜设备，转换阀管可以控制罐内气体的输出方向，在镀膜加工前，通过真空泵端口将罐体内部的空气抽出，转换阀管的一侧设置有废水箱端口，废水箱端口与水箱连接，在镀膜完成后，将抽出的碘化铯蒸汽通过废水箱端口输入到水箱的内部，使碘化铯蒸汽溶于水中，这样便可以避免碘化铯蒸汽进入到空气中对人体造成危害。