光学长度测量设备

摘要

光学长度测量设备。本发明涉及用于测量被布置为能够至少沿着测量方向彼此移动的两个物体的相对位置的光学长度测量设备。该设备由下列各项构成：计量用具，其与两个物体之一连接并且包括在测量方向上延伸的测量分度；以及与另一物体连接的用于对测量分度进行光学扫描的扫面单元。扫描单元包括光学有效的点状光源以及至少一个光学有效的探测器装置，使得从光学有效的光源发散地发射的射束在测量分度的方向上传播，在测量分度处经历朝向扫描单元的方向的回射并且然后落到光学有效的探测器装置上，使得在光学有效的探测器装置上产生取决于位移的经调制的图案，该图案能够通过光学有效的探测器装置被转换成一个或多个与位置相关的扫描信号。