基于面阵CCD的光电测量设备光学系统像面照度不均匀度测量系统

摘要

一直以来光电测量设备光学系统像面照度不均匀度检测都没有精确的测量设备和检测系统。介绍了光电测量设备光学系统像面照度不均匀度测量系统。该测量系统采用积分球作为均匀面光源,面阵CCD作为光电接受器。通过对CCD进行均匀性校正的方法实现了对光学系统像面照度不均匀度的定量评价,检测结果准确、可靠。