一种元素汞标气发生装置气路系统

摘要

本实用新型公开了一种元素汞标气发生装置气路系统，涉及标准气发生设备技术领域。本实用新型包括零气发生单元、用于对汞标气进行稀释混合的稀释混合单元、以及气体输出、排放单元；零气发生单元包括真空泵和若干气体处理模块；稀释混合单元包括相互连通的汞源和混合腔；气体输出、排放单元包括活性碳罐二。本实用新型气制备气路主要通过真空泵压缩空气经过干燥剂和活性炭去除气体里面的水汽和汞元素，零气经过过滤器分为两路，一路是小量程数字流量计，控制气体进入汞饱和蒸汽发生装置，然后进入混合腔体，另一路气体经过大量程数字流量计直接进入混合腔体，混合好的标气可以经标气口和排气口排出，从而能实现快速制备不通浓度的汞标准气体。