一种便于光刻掩膜版图形检测的菲林片

摘要

本实用新型公开了一种便于光刻掩膜版图形检测的菲林片，包括装置本体，所述装置本体的底部活动安装有吸盘，所述吸盘的顶部固定连接有密封套口，所述密封套口的顶部固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆外壁的表面活动套接有第一弹簧，所述装置本体的内部固定安装有第一套板，所述伸缩杆的顶部固定安装有第一限位板；通过设计的伸缩杆和吸盘，伸缩杆在向下的过程中吸盘会对菲林片的顶部形成一个挤压的力，再挤压的过程中吸盘会将自身底部整体的空气排出，这时吸盘内外气压不同会形成负压，而放置在吸盘底部的菲林片会被紧紧吸住，此时便可以将装置本体向上提取，解决了在提取的过程中会将菲林片划伤的问题。