一种全新的物理气相沉积铝腔体磁控装置

摘要

本实用新型公开了一种全新的物理气相沉积铝腔体磁控装置，包括磁控装置，磁控装置由齿轮一、齿轮二、齿轮三和永磁体组成，齿轮一的中部安装有连接杆，连接杆的内侧设置有驱动电机且外端连接有支撑杆一，驱动电机的动力输出端与连接杆相连接，支撑杆一的外端安装有配重块一，配重块一位于齿轮一的外侧，齿轮一与上方的齿轮二啮合，齿轮二与右侧的齿轮三相啮合，齿轮三的外侧水平安装有支撑杆二，支撑杆二的内端安装有配重块二且外端与永磁体相连接，配重块二位于齿轮三的正上方，永磁体位于齿轮三的外侧。本实用新型对物理气相沉积铝腔体的磁控装置进行了改进，磁力线在靶材表面分布更均匀，从而提高靶材的利用率，节省生产成本。