公开/公告号CN212763169U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-03-23
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州尊肯金属科技有限公司;
申请/专利号CN202021393385.X
发明设计人 沈志春;
申请日2020-07-15
分类号B25B11/02(20060101);
代理机构
代理人
地址 215000 江苏省苏州市相城区望亭镇迎湖村创新南路2号7栋
入库时间 2022-08-22 20:23:50
机译: 半导体工艺设备零部件的超音速精密清洗
机译: 半导体加工设备零部件的超音速精密清洗
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