一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装

摘要

本实用新型公开了一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，包括聚四氟乙烯材质的漏斗，以及石英材质的导流管；所述漏斗的底部设有内螺纹，所述导流管的顶部设有外螺纹，漏斗与导流管通过内外螺纹可拆卸的连接。导流管的底部设有石英材质下口加强环；导流管靠近漏斗的端部设有聚四氟乙烯材质的保护环，保护环下方还设有石英材质的支撑台。该掺杂工装采用分体式结构设计，其上部为聚四氟乙烯漏斗，下部为石英导流管，两者采用螺纹连接可有效降低采购成本，且易于拆卸、组装及清洗。石英管损坏后仅更换下部石英管降低了使用成本。该工装选用材料均为高纯度材料可有效避免该工装对于多晶硅原料的污染。