异质整合的热红外线感测元件及热红外线感测器

摘要

一种异质整合的热红外线感测元件包含：一基板；一感测电路，位于该基板中或上；一空腔，位于该基板中或上，感测电路位于空腔的下方；以及一个或多个热电偶，热电偶的材料为制作于第二基板并通过键合方式移转于空腔的上方，热电偶包含一第一导体及一第二导体，热电偶的第一导体与第二导体的第一端连接于一个位于空腔的上方的热端，热电偶的第一导体与第二导体的第二端为设置于空腔边缘的冷端，并且电连接至感测电路。