气体流量传感器芯片以及气体流量传感器

摘要

本实用新型提供一种气体流量传感器芯片，其包括基体以及感应膜片，所述基体设有通孔，感应膜片置于通孔处。感应膜片包括基片、置于基片上的加热器、置于加热器一侧的第一热电偶以及置于加热器另一侧的第二热电偶，加热器设有第一中心轴。第一热电偶和第二热电偶以第一中心轴为中心对称设置。基片为压电材料制成。本实用新型提供的气体流量传感器通过将基片设为压电材料制成，可以起到对传感器的清洁的效果。