全自动目检机的晶圆检测系统

摘要

本实用新型的全自动目检机的晶圆检测系统，其包括晶圆载架、在线目检机构，晶圆载架包括架座、架环、支撑部件、夹持部件，其中在夹持部件的端面上形成有与晶圆边缘匹配的卡槽，卡槽和晶圆的周边点或线接触；晶圆检测系统还包括用于驱动架环自由转动的第一翻转机构、用于驱动架座绕着竖直方向延伸的中心自由转动的第二翻转机构。本实用新型一方面在简化晶圆载架结构的前提下，可通过点或线接触的模式实现晶圆的定位，使得接触面积小，便于实施晶圆的全面检测，同时在卡槽的限位保护下，不管如何翻转都不会发生晶圆脱落；另一方面通过晶圆绕着水平方向转动，晶圆载架绕着竖直方向转动，以满足在不同角度下实现晶圆表面在线检测要求。