一种蓝宝石单晶炉的热交换器装置

摘要

本实用新型提供了一种蓝宝石单晶炉的热交换器装置，该装置主要由三组输入管与输出管组成的热交换器，及与其相辅助的三组温度传感器组成。三组热交换器分别位于炉体上部、炉体两侧及炉体底部且处于保温砖与炉体之间，每组输入管与输出管相通并分别通过炉体顶部的小炉盖、炉体侧面、炉体底部延伸至炉体外部；温度传感器与热交换器位置相匹配，通过其反射出的温度来调节热交换器的换热量。本实用新型所述的热交换器装置可以更好的根据温度传感器反馈的温度调节炉体各区域的换热量，利于炉内不同区域形成合理的温度梯度，从而降低晶体生长过程中缺陷产生的几率。