公开/公告号CN212300589U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-01-05
原文格式PDF
申请/专利权人 常熟卓辉光电科技股份有限公司;
申请/专利号CN202021488089.8
申请日2020-07-25
分类号G01J1/00(20060101);G01J1/04(20060101);
代理机构32438 苏州瞪羚知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张宇
地址 215558 江苏省苏州市常熟东南经济开发区金都路1号
入库时间 2022-08-22 19:01:29
机译: 平均照度测量装置
机译: 照度均匀度校正和均匀漂移补偿的光刻设备和方法
机译: 钢制照度均匀度单位